TY  - DATA
AU  - Allen,James J.
TI  - Micro electro mechanical system design
T2  - Mechanical engineering
SN  - 0824758242 (alk. paper)
AV  - TK 153 A425m 2005
U1  - 621 
PY  - 2005///
CY  - Boca Raton
PB  - Taylor & Francis
KW  - Primera Jornada de Catalogacion
KW  - Mecatrónica
KW  - Sistemas microelectromecánicos
KW  - Robótica
KW  - Diseño y construcción
KW  - Diseño en ingeniería
KW  - Tecnología electromecánica
KW  - Microelectromechanical systems
KW  - Design and construction
KW  - Engineering design
N1  - Incluye referencias bibliográficas e índice; Ch. 1. Introduction -- Ch. 2. Fabrication processes -- Ch. 3. MEMS technologies -- Ch. 4. Scaling issues for MEMS -- Ch. 5. Design realization tools for MEMS -- Ch. 6. Electromechanics -- Ch. 7. Modeling and design -- Ch. 8. MEMS sensors and actuators -- Ch. 9. Packaging -- Ch. 10. Reliability
UR  - http://catdir.loc.gov/catdir/enhancements/fy0648/2005041771-d.html
ER  -